應用背景

半導體天車，全稱為“空中懸掛式無人搬送車，是一種能在空中軌道上行駛的自動化搬運設備，是半導體制造過程中不可或缺的一部分。將RFID技術應用在半導體天車上，通過RFID技術的快速精準、非接觸式、穿透性識別功能，在確保晶圓安全的同時，還能提高整個半導體晶圓的運輸效率。

應用方案

RFID在半導體天車上的應用主要體現(xiàn)在自動化搬運、實時位置監(jiān)測、信息讀取與上傳以及安全控制等方面；

晶圓盒信息讀取與上傳

晶圓盒信息讀?。?/span>

FOUP晶圓盒上安裝的TI載碼體標簽（或TI玻璃管標簽）記錄了晶圓芯片的所有信息，如晶圓尺寸、制造日期、流程信息等。當天車搬運FOUP晶圓盒時，半導體RFID讀寫器會讀取這些信息，確保所搬運的晶圓盒準確無誤。

信息上傳：

在搬運過程中，RFID讀寫器會將讀取到的信息實時上傳到管理系統(tǒng)。這樣，管理人員可以實時掌握晶圓盒的搬運情況，并在必要時進行干預或調(diào)整。

天車實時位置監(jiān)測與調(diào)度

產(chǎn)品溯源：

當產(chǎn)品出現(xiàn)瑕疵等不良品時，可以通過RFID技術記錄上傳數(shù)據(jù)快速定位到問題點上，進行產(chǎn)品溯源。

產(chǎn)品介紹

CK-S650系列RFID讀寫器是專為半導體制造業(yè)而研發(fā)生產(chǎn)的RFID讀寫器設備。該讀卡器符合SEMI標準，支持標準工業(yè)半導體SECS協(xié)議和 Modbus協(xié)議,同時還支持1和N協(xié)議,方便用戶應用到半導體加工控制器或PLC等系統(tǒng)中。設備外置了三個模式開關選擇器，方便用戶直接設置工作模式、通信速率以及設備地址。讀卡器內(nèi)部集成了射頻部分通信協(xié)議，用戶只需通過串口通信接口或者以太網(wǎng)通信接口發(fā)送接收數(shù)據(jù)便可完成標簽的讀取操作，無需理解復雜的射頻通信協(xié)議。