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應(yīng)用設(shè)計(jì)

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伊瑪電容傳感器在半導(dǎo)體設(shè)備液位檢測

伊瑪電容傳感器在半導(dǎo)體設(shè)備液位檢測

伊瑪 扁平式CD電容傳感器應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備

應(yīng)用描述

  上海松江某半導(dǎo)體設(shè)備制造廠原先使用浮子開關(guān),但是卻無法及時(shí)反應(yīng)液位內(nèi)高低,且維修上如需要停機(jī)則還要防止液體從管孔流出。

實(shí)際案例中, 也有客戶采用光電開關(guān)來做桶槽液位的檢測, 但是隨著一段時(shí)間, 桶槽內(nèi)會(huì)堆積灰塵, 累積到一定程度之后, 就會(huì)對(duì)光電開關(guān)偵測的準(zhǔn)確性造成影響。

 

安裝位置

常見的安裝數(shù)量一臺(tái)半導(dǎo)體設(shè)備會(huì)安裝24個(gè), UP上料位和DOWN下料位, 有的工程師會(huì)再多安裝UP/UP上料位和DW/DW下料位的預(yù)備, 避免前一個(gè)傳感器的異?,F(xiàn)象發(fā)生。

 

解決方案

  建議選用伊瑪?shù)囊挥|式電容式接近傳感器CD0001/CD0002,安裝于半導(dǎo)體清洗生產(chǎn)線,替代客戶先前使用的浮子,因?yàn)椴恢苯咏佑|溶液,可以穿透塑料的桶槽或是非金屬的外接管, 維護(hù)起來更加方便穩(wěn)定!

 

  此款CD型智能型電容式接近傳感器,具備技術(shù)領(lǐng)先的”One-Touch”一觸式學(xué)習(xí)功能,擺脫傳統(tǒng)的方法轉(zhuǎn)旋鈕調(diào)整,設(shè)定者只要輕輕一觸則可完成自動(dòng)學(xué)習(xí)和遠(yuǎn)程設(shè)定。感應(yīng)距離高達(dá)到15mm,透過扁平式的結(jié)構(gòu)節(jié)省空間且可輕易的安裝,并增強(qiáng)抗電磁干擾。透過全密封設(shè)計(jì),可長時(shí)間工作于惡劣環(huán)境,性能穩(wěn)定。具有穿透管壁的功能,無需將管道穿孔,即可輕松的安裝在管上,安裝相當(dāng)容易。優(yōu)點(diǎn)如下:可靠性高、具抗干擾能力,可滿足感應(yīng)速度要求,由于無需穿孔且可輕易的綁在管道上,使用和維護(hù)都相當(dāng)方便,非常適合半導(dǎo)體的使用環(huán)境,成本相對(duì)來說比較低。

 

審核編輯(
王靜
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